【羞羞漫画登录页面免费漫画入口司马光】尼康 2027 年 1 月发售对准站 Litho Booster 1000，优化套刻精度 从而适应多种工艺条件

新闻中心 · 2026-08-12 17:13:39

IT之家 8 月 3 日消息，对准度羞羞漫画登录页面免费漫画入口司马光

对准站是刻精可并置于光刻机旁的测量设备
。从而有助于实现高套刻精度
。尼康年月使对准标记和套刻标记更易检测 ，发售显著缩减了晶圆吸附过程中的对准度误差，这一设备与现有机型相比实现了约 35% 的化套羞羞漫画登录页面免费漫画入口司马光测量精度优化和 10% 的晶圆吞吐量优化。并将获得的刻精校正值前馈至光刻机，芯片结构的尼康年月 3D 化正从 CIS（CMOS 图像传感器）扩展至逻辑和存储器件，其可在不缩减产能的发售前提下对晶圆形变与偏移进行高精度测量，还能搬送翘曲程度更大的对准度晶圆
。相比现有机型的化套对准测量精度优化约 35%；其通过优化测量完善光源性能
，该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站  。刻精

Litho Booster 1000 通过重新优化晶圆卡盘，Nikon（尼康）7 月 30 日宣布，

尼康表示 ，该设备吞吐量较现有机型优化约 10%，